晶圆切割方法与晶圆切割后的结构

摘要

一种晶圆切割方法与晶圆切割后的结构，其特征在于以预设角度并于晶圆侧壁上选定参考点来进行切割刀片的进刀和退刀步骤，藉以避免切穿晶圆边缘，而形成具有封闭回圈之晶圆切割后的结构，此封闭回圈可容纳复数个晶粒，并阻挡晶粒由侧向飞离晶圆。