ドライ低真空ポンプ

摘要

本発明は、排気管（９）内に、貫通路を有する弁（１０、１５）を配置されているドライ低真空ポンプに関する。貫通路を有する弁（１０、１５）は、排気管（９）の口（１２）の座部に接している閉位置と、排気管（９）の口（１２）から離れている開位置との間で変位可能である。このドライ低真空ポンプは、ベンチュリ効果路（１１）の入口（１１ａ）に駆動気体を注入するように構成されている駆動気体注入装置（１３）を備えている。【選択図】図１