发明名称 WIRING OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS641255(A) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 JP19870155352 申请日期 1987.06.24
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 IMAI HIDEAKI;KUROKAWA HIROSHI
分类号 H01L39/06;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L39/06
代理机构 代理人
主权项
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