发明名称 PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPS641226(A) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 JP19870157168 申请日期 1987.06.23
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAHASHI KIYOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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