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经营范围
发明名称
PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号
JPS641226(A)
申请公布日期
1989.01.05
申请号
JP19870157168
申请日期
1987.06.23
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
TAKAHASHI KIYOSHI
分类号
H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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