发明名称 FLATTENED SURFACE FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0372657(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890208653 申请日期 1989.08.11
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KAJIWARA SATOMI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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