发明名称 |
RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0854736(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
申请号 |
JP19940190735 |
申请日期 |
1994.08.12 |
申请人 |
JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD |
发明人 |
SAKURAI AKIHIKO;CHIYOU GIYOKUKI;FUJIWARA HIDEETSU |
分类号 |
G03F7/022;C08K5/00;C08L79/08;G03F7/004;G03F7/037;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/022 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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