发明名称 RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0854736(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940190735 申请日期 1994.08.12
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO LTD 发明人 SAKURAI AKIHIKO;CHIYOU GIYOKUKI;FUJIWARA HIDEETSU
分类号 G03F7/022;C08K5/00;C08L79/08;G03F7/004;G03F7/037;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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