发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1092712(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960239559 申请日期 1996.09.10
申请人 SHARP CORP 发明人 TANAKA YASUHIRO;SHIRAKI RYUZO
分类号 H01L21/306;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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