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发明名称 SEMICONDUCTOR-INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1093024(A) 申请公布日期 1998.04.10
申请号 JP19960240149 申请日期 1996.09.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 OBAYASHI MASAYUKI
分类号 H01L21/761;H01L21/8244;H01L27/08;H01L27/11;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/08;H01L21/824 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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