发明名称 Method of chemical vapor deposition and reactor therefor
摘要
申请公布号 EP0696653(B1) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19950304853 申请日期 1995.07.11
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 HABUKA, HITOSHI;MAYUZUMI, MASANORI;TATE, NAOTO;KATAYAMA, MASATAKE
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/08;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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