| 发明名称 |
Radiation-sensitive mixture containing (naphthoqinone diazide) sulfonic acid mixed esters and radiation-sensitive recording material prepared therewith |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SG68577(A1) |
申请公布日期 |
1999.11.16 |
| 申请号 |
SG19960008302 |
申请日期 |
1992.03.30 |
| 申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT. |
发明人 |
SCHELER SIEGFRIED;ZAHN WOLFGANG;SCHMITT AXEL;BUHR GERHARD |
| 分类号 |
G03F7/00;G03F7/022;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/52 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
