METHOD FOR FORMING A PATTERN AND APPARATUS FOR FORMING A PATTERN,申请号KR19970015773-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FORMING A PATTERN AND APPARATUS FOR FORMING A PATTERN
摘要
申请公布号	KR100253052(B1)	申请公布日期	2000.06.01
申请号	KR19970015773	申请日期	1997.04.26
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA	发明人	INOUE, SOICHI;HIGASHIDAWA, IWAO;OGAWA, YOJI;HARA, SHIGEHIRO;YAMAMOTO, KAZUKO
分类号	H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
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