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发明名称 ARRANGEMENT FOR COATING OR ETCHING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 KR100250547(B1) 申请公布日期 2000.06.01
申请号 KR19940000717 申请日期 1994.01.17
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ARNOLD, MANFRED;BLANG, FUIDO;GUIDO, GEGENWART;RAINER, RITTER;JOCHEN, HELMUT
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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