高精度隧道式加速度计及其制备方法

摘要

本发明提供了一种高精度隧道加速度计结构及其制备方法。该隧道加速度计隧尖为圆锥型，支撑梁厚度小于质量块厚度。其制备方法依次包括以下步骤：在硅片上刻蚀浅槽，定出隧尖与对应电极的初始间距；继续刻蚀制备隧尖，并在隧尖上淀积金属作为隧道电流发射电极；在玻璃衬底上制备驱动电极和隧尖对应电极；阳极键合，实现玻璃衬底和硅片的对准和粘合；干法深槽刻蚀工艺刻蚀硅片背面，生成支撑梁；继续刻蚀硅片背面生成质量块，释放结构即得隧道加速度计。本发明的隧道加速度计，支撑梁厚度小于质量块厚度，提高了灵敏度。制备方法采用常规MEMS工艺，支撑梁和质量块通过干法深刻蚀得到，避免了湿法释放引起的粘附、隧尖污染和常规的浓硼扩散。

主权项

1.高精度隧道式加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上有驱动电极和隧尖对应电极，玻璃衬底通过锚点与分布于质量块四周的支撑梁固定连接，质量块与支撑梁固定连接，隧尖位于质量块正中央下方，其特征在于，隧尖为圆锥型；支撑梁的厚度小于质量块厚度。