用于检测物体表面之特性的干涉仪

摘要

一系统被揭露，其包括：(i)一干涉仪，被配置以将测试电磁辐射导至测试面并将参考电磁辐射导至参考面，然后结合电磁辐射以形成一干涉图案，电磁辐射系来自一共同光源；(ii)一多元件检测器；及(iii)一或多个光学元件，被配置以将干涉图案成像于检测器上，以使得检测器的不同元件对应于测试电磁辐射对测试面的不同的照明角度。由检测器元件做的测量提供测试面的椭圆术／反射术资料。揭露的系统可被重新配置以在不同模式(例如，统计模式)中操作，其中，检测器的不同元件对应于测试面的不同位置。