| 发明名称 |
SYSTEMS AND METHODS FOR DEFLECTING PLASMA-GENERATED IONS TO PREVENT THE IONS FROM REACHING AN INTERNAL COMPONENT OF AN EUV LIGHT SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1899115(A2) |
申请公布日期 |
2008.03.19 |
| 申请号 |
EP20060760378 |
申请日期 |
2006.05.25 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
RETTIG, CURTIS L.;HOFFMAN, JERZY R.;VARGAS, ERNESTO L. |
| 分类号 |
G21K1/00;G02B5/00;G03F7/20;G21C11/00;H01J1/50 |
主分类号 |
G21K1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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