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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR VERARBEITUNG EINES WAFERS
摘要
申请公布号 DE60039857(D1) 申请公布日期 2008.09.25
申请号 DE2000639857 申请日期 2000.03.08
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 RAVKIN, MICHAEL
分类号 B24B9/00;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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