| 主权项 |
1.一种蒸发装置,系包含:上部开放且用以收容蒸发材料之细长型长尺坩埚;覆盖前述长尺坩埚之上部开放部,藉由通电发热,加热前述长尺坩埚内的前述蒸发材料,且具备开口使经由加热汽化过的前述蒸发材料得以通过的电热加热器,以及为了对前述电热加热器通电,而用以电性连接电热加热器端部与蒸镀装置之电极的连接板,其中,前述连接板系由电阻値相异之金属所形成的多数板材所构成。2.如申请专利范围第1项之蒸发装置,其中,前述连接板的一方的金属,系由电阻値低于前述电热加热器之良导电材料所形成。3.如申请专利范围第2项之蒸发装置,其中,前述连接板之另一方的金属,系由具有与前述电热加热器相同之电阻値的电阻发热金属所形成。4.如申请专利范围第3项之蒸发装置,其中,前述良导电材料为铜,而前述电阻发热金属为钽。5.如申请专利范围第4项之蒸发装置,其中,前述连接板中之以铜形成的前述金属板,其至少一部份系施加有金的电镀,该施加金的电镀之部份系与前述电热加热器端部形成面接触,而构成电性连接。6.一种蒸发装置,系包含:上部开放之用以收容蒸发材料之细长型长尺坩埚;覆盖前述长尺坩埚之上部开放部藉由通电发热,加热前述长尺坩埚内的前述蒸发材料,且具备开口,使经由加热汽化过的前述蒸发材料得以通过的电热加热器;以及为了对前述电热加热器通电,而用以电性连接电热加热器端部与电极的连接板,其中,前述连接板,系由铜所形成,且至少一部份系施加有金的电镀,该施加金的电镀之部份系与前述电热加热器端部形成面接触,而构成电性连接。7.如申请专利范围第1项至第6项之任一项之蒸发装置,其中,前述电热加热器系由钽所形成。8.一种蒸镀装置,系利用申请专利范围第1项至第7项之任一项的蒸发装置,而将该蒸发装置所蒸发之蒸发物蒸镀在对象物。图式简单说明:第1图系本发明之一实施型态之蒸发装置整体构造的图。第2图系覆盖坩埚之开口的电热加热器构造的剖面图。第3图系第2图之坩埚与电热加热器之咬合部的放大图。第4图系将L字型角形材配置在电热加热器12侧端部(角部)的图。第5图系显示L字型角形材形状的斜视图。第6图系显示利用夹具固定坩埚、电热加热器以及L字型角形材的剖面图。第7图系显示夹具形状的斜视图。第8图系施加过金属镀覆之坩埚的斜视图。第9图系显示施加于坩埚之金属镀覆之高度的坩埚侧面图。第10图系显示位于真空室内之蒸发装置的构造。第11图系显示藉由连接板与电热加热器形成电性连接的图。 |
