发明名称 |
热增强的散热器 |
摘要 |
一种三维集成电路(3DIC)包括第一衬底和嵌入在第一衬底中的散热结构。该3DIC还包括电连接至第一衬底的管芯,其中,管芯热连接至散热结构。该3DIC还包括位于管芯上的多个存储单元,其中,管芯介于多个存储单元和第一衬底之间,并且多个存储单元通过管芯热连接至散热结构。该3DIC还包括位于多个存储单元上的外部冷却单元,其中,多个存储单元介于管芯和外部冷却单元之间,并且管芯通过多个存储单元热连接至外部冷却单元。本发明实施例涉及热增强的散热器。 |
申请公布号 |
CN105938821A |
申请公布日期 |
2016.09.14 |
申请号 |
CN201610117616.6 |
申请日期 |
2016.03.02 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
林柏尧;林文益;吕学德;游明志 |
分类号 |
H01L23/367(2006.01)I;H01L23/373(2006.01)I;H01L23/427(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/367(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种三维集成电路(3DIC),包括:第一衬底;散热器,嵌入在所述第一衬底中;管芯,电连接至所述第一衬底,其中,所述管芯热连接至所述散热器;多个存储单元,位于所述管芯上,其中,所述管芯位于所述多个存储单元和所述第一衬底之间,并且所述多个存储单元通过所述管芯热连接至所述散热器;以及外部冷却单元,位于所述多个存储单元上,其中,所述多个存储单元位于所述管芯和所述外部冷却单元之间,并且所述管芯通过所述多个存储单元热连接至所述外部冷却单元。 |
地址 |
中国台湾,新竹 |