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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bestimmung von Eigenschaften eines Laserstrahls, welche eine Einrichtung 70 zur Aussendung eines Laserstrahls 10, 11 in einen Wirk-Bereich 17, eine Detektor-Anordnung 20, die im Wirk-Bereich 17 positionierbar ist, eine Einrichtung 80 zur Bereitstellung einer Relativbewegung zwischen dem Laserstrahl 10, 11 und der Detektor-Anordnung 20, und eine Einrichtung 50 zur Registrierung und Auswertung eines zeitlich veränderlichen Signals von der Detektor-Anordnung 20 einschließt. Dabei beinhaltet die Detektor-Anordnung 20 mindestens einen Lichtleiter 33, mindestens zwei lichtstreuende Strukturen 30, und mindestens einen lichtempfindlichen Sensor 40. Der mindestens eine Lichtleiter 33 hat eine Lichtaustrittsfläche 39 und einen lichtleitenden Bereich 36, wobei der lichtleitende Bereich 36 eine längliche Form aufweist. Die mindestens zwei lichtstreuenden Strukturen 30 umfassen eine erste lichtstreuende Struktur 31 und eine zweite lichtstreuende Struktur 32. Dabei ist die erste lichtstreuende Struktur 31 im wesentlichen längs einer ersten Richtung ausgedehnt, und ist die zweite lichtstreuende Struktur 32 im wesentlichen längs einer zweiten Richtung ausgedehnt. Die erste Richtung und die zweite Richtung schließen einen von Null verschiedenen Winkel ein. Der mindestens eine lichtempfindliche Sensor 40 ist zum Empfang von Strahlung ausgebildet, die von der Lichtaustrittsfläche des Lichtleiters abgegeben wird. Weiterhin sind die mindestens zwei lichtstreuenden Strukturen 30, 31, 32 ausgebildet, einen Teil des auf die lichtstreuenden Strukturen 30, 31, 32 auftreffenden Laserstrahls 10, 11 in einen Winkelbereich zu streuen, der zum Transport von gestreuter Laserstrahlung 18 im lichtleitenden Bereich 36 des Lichtleiters 33 zur Lichtaustrittsfläche 39 geeignet ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Bestimmung von Eigenschaften eines Laserstrahls. |
