发明名称 模组化电浆反应装置
摘要 本发明系揭露一种多火炬多快速接头电浆电浆反应装置,在维修中得启动关断装置后,即可迅速地更换快速接头。使得二个以上的多火炬在维修中得更换快速接头只需5至10分钟,而更换传统的接头则需1至2小时。控制电浆火炬之位向,使毒气处理装置上之电浆火炬所产生的气流可洗刷所述反应腔内壁,将原本附着在反应腔内壁的固体小分子清除,如此之处理方式不仅可增加装置本身之寿命。本发明使用多个关断装置及多个锁环,可降低更换火炬及其他部分之时间,达成持续运行的目的。
申请公布号 TW200635445 申请公布日期 2006.10.01
申请号 TW094109025 申请日期 2005.03.23
申请人 华懋科技股份有限公司 发明人 郑石治;陈水盛;刘邦锦
分类号 H05H1/02 主分类号 H05H1/02
代理机构 代理人
主权项
地址 桃园县龙潭乡高原村六杠寮10邻1之5号