一种气体传感器电极的加工方法

摘要

一种气体传感器电极的加工方法。目前气体传感器电极的加工方法多为属化成膜工艺可以采用真空蒸发镀膜法、直流射频磁控溅射法、化学气相沉积法等成膜方式，但是就目前的技术而言这些方法都存在缺陷，例如：加工条件高，技术要求高，经济成本高等。一种气体传感器电极的加工方法，其特征在于包括一下几个步骤：步骤1：对陶瓷基板进行预处理使其对光刻胶有良好的粘附作用；步骤2：在陶瓷基板上涂抹光刻胶，并使其均匀分布，之后进行烘干；本发明用于气体传感器电极的加工方法。

主权项

一种气体传感器电极的加工方法，其特征在于包括一下几个步骤：步骤1：对陶瓷基板进行预处理使其对光刻胶有良好的粘附作用；步骤2：在陶瓷基板上涂抹光刻胶，并使其均匀分布，之后进行烘干；步骤3：将定制好尺寸及镂空的模板盖在光刻胶上；步骤4：利用紫外线对模板进行曝光处理，模板镂空处的光刻胶遇紫外线时性质将改变，并用化学试剂将光刻胶改变性质部分溶解，之后进行烘干；步骤5：在光刻胶表面镀上一层金属薄膜；步骤6：利用化学试剂将光刻胶及其表面的薄膜溶解剥离掉，剩下直接镀在陶瓷基板上的金属薄膜。