| 摘要 |
본 발명은 적어도 직전에 측정된 고속 스캔 라인의 데이터를 이용하여 스캔 속도를 가변적으로 적용함으로써 측정 속도를 높일 수 있는 측정 장치 및 측정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 측정 방법은, 감지부가 측정 대상의 표면을 따라 스캔하면서 상기 측정 대상의 표면에 관한 데이터를 획득하는 측정 방법으로서, 상기 감지부가 상기 측정 대상의 표면의 복수의 고속 스캔 라인 (fast scan line) 을 따라 상기 표면을 스캔하도록, 상기 감지부 및 상기 측정 대상 중 하나 이상이 이동되며, 상기 감지부를 이용하여 상기 복수의 고속 스캔 라인 중 어느 하나의 고속 스캔 라인 상의 표면에 관한 데이터를 얻기 위해 상기 감지부가 상기 어느 하나의 고속 스캔 라인을 따라 상기 표면을 스캔하는 제1 단계; 및 상기 제1 단계 이후, 상기 어느 하나의 고속 스캔 라인과 가장 인접한 고속 스캔 라인을 따르도록 상기 감지부 및 상기 측정 대상 중 하나 이상을 이동시키면서 상기 감지부를 이용하여 상기 가장 인접한 고속 스캔 라인 상의 표면에 관한 데이터를 얻는 제2 단계; 를 포함한다. 상기 제2 단계에서의 스캔 속도는 적어도 상기 제1 단계에서 얻어진 표면에 관한 데이터를 이용하여 결정된다. |
