发明名称 RESIN SEALING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0276238(A) 申请公布日期 1990.03.15
申请号 JP19880228053 申请日期 1988.09.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAGUCHI MASAYOSHI;KATO MASAYUKI;SASAHARA KAZUHIKO;MURA MITSURU
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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