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发明名称 CONTROLLER OF ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02142049(A) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 JP19880293593 申请日期 1988.11.22
申请人 SUMITOMO EATON NOBA KK 发明人 TAMAI TADAMOTO;SATO MASATERU
分类号 H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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