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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0372229(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890208088 申请日期 1989.08.11
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIDA YASUAKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L21/56;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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