发明名称 FORMATION OF SINGLE CRYSTAL MAGNESIA SPINEL FILM
摘要
申请公布号 JPH0371656(A) 申请公布日期 1991.03.27
申请号 JP19890208149 申请日期 1989.08.10
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KOBAYASHI YASUHIRO;TAGUCHI EIJI;INOUE YASUNORI
分类号 H01L21/205;H01L21/86 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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