发明名称 Optic radiation measuring apparatus
摘要 Bei einer optischen Vorrichtung mit wenigstens einem Strahlungsdetektor (10) zum Messen einer von wenigstens einer Strahlungsquelle (3) emittierten elektromagnetischen Strahlung wird die das Meßergebnis beeinträchtigende Hintergrundstrahlung dadurch verringert und das Meßergebnis verbessert und sicherer gestaltet, wenn ein in einem Kanalkörper (11) ausgebildeter Strahlungskanal (12) für den Strahlungsweg zwischen der Strahlungsquelle (3) und dem Strahlungsdetektor (10) vorgesehen ist. <IMAGE>
申请公布号 EP0921558(A2) 申请公布日期 1999.06.09
申请号 EP19980122887 申请日期 1998.12.02
申请人 STEAG RTP SYSTEMS GMBH 发明人 HAUF, MARKUS
分类号 G01J1/02;G01J1/04;G01J5/00;G01J5/06;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利