DETECTION SYSTEM FOR MEASURING HIGH ASPECT RATIO,申请号EP19940930746-传众专利搜索

发明名称	DETECTION SYSTEM FOR MEASURING HIGH ASPECT RATIO
摘要
申请公布号	EP0725975(B1)	申请公布日期	2000.01.26
申请号	EP19940930746	申请日期	1994.10.12
申请人	METROLOGIX, INC.	发明人	TORO-LIRA, GUILLERMO, L.;ACHILLES, ALAN, H.;FREDERICK, NOLAN, V.;MONAHAN, KEVIN, M.;RIGG, PHILIP, R.
分类号	G01B15/00;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01J37/244	主分类号	G01B15/00
代理机构		代理人
主权项
地址