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发明名称
STANDARD FOR CALIBRATING AND CHECKING A SURFACE INSPECTION DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
KR20000075944(A)
申请公布日期
2000.12.26
申请号
KR19997008026
申请日期
1999.09.03
申请人
发明人
分类号
G01B11/30;G01N21/93;H01L21/306;H01L21/66
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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