发明名称 | 金属绝缘体金属电容器 | ||
摘要 | 一种MIM(金属绝缘体金属)电容器,设置有:衬底;第一金属区;形成在衬底与第一金属区之间的第二金属区;和形成在第一金属区与第二金属区之间的第一绝缘层;其中电容值由第一金属区与第二金属区的相对表面积确定;且该MIM电容器还设置有:形成在第二金属区与衬底之间的第三金属区;和形成在第三金属区与第二金属区之间的第二绝缘层;其中第三金属区连接到地电势。 | ||
申请公布号 | CN1643689A | 申请公布日期 | 2005.07.20 |
申请号 | CN03806360.3 | 申请日期 | 2003.09.01 |
申请人 | 松下电器产业株式会社 | 发明人 | 日野拓生;南善久 |
分类号 | H01L27/04;H01G4/33 | 主分类号 | H01L27/04 |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王英 |
主权项 | 1、一种MIM(金属绝缘体金属)电容器,包括:衬底;第一金属区;形成在所述衬底与第一金属区之间的第二金属区;以及形成在第一金属区与第二金属区之间的第一绝缘层;其中电容值由第一金属区与第二金属区的相对表面积确定;且进一步包括:形成在第二金属区与所述衬底之间的第三金属区;以及形成在第三金属区与第二金属区之间的第二绝缘层;其中第三金属区连接到地电势。 | ||
地址 | 日本大阪府 |