| 主权项 |
1.一种先进制程控制(APC)系统,用以管理一半导体处理系统,该APC系统包含一组图形使用者介面(GUI)萤幕,该组GUI萤幕包含:网路型登入萤幕,用以提供一安全进入点;至少一个系统组态设定GUI萤幕,用以设定该半导体处理系统中的若干制程工具之组态,其中可经由该登入萤幕而进入至少一个系统组态设定萤幕;至少一个模组组态设定GUI萤幕,用以设定耦合到一制程工具的一制程模组之组态;至少一个感测器组态设定GUI萤幕,用以设定耦合到一制程工具的一感测器之组态;以及至少一个警示组态设定萤幕,用以设定耦合到该制程工具的一警示管理系统之组态。2.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等复数个系统组态设定萤幕包含一工具组态设定萤幕。3.如申请专利范围第2项之APC系统,其中该工具组态设定萤幕包含一工具名称栏位、一IP位址栏位、及一工具开始选择部分。4.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等复数个系统组态设定萤幕包含一探针组态设定萤幕。5.如申请专利范围第4项之APC系统,其中该探针组态设定萤幕包含用来设定一电压╱电流(V/I)探针的组态之一部分。6.如申请专利范围第4项之APC系统,其中该探针组态设定萤幕包含用来设定一发射光谱(OES)探针的组态之一部分。7.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等至少一个模组组态设定萤幕包含一模组选择萤幕。8.如申请专利范围第7项之APC系统,其中该模组选择萤幕包含模组资讯栏位、工具资讯栏位、模组识别码资讯栏位、及一模组状态选择部分。9.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等至少一个模组组态设定萤幕包含一模组资讯萤幕。10.如申请专利范围第9项之APC系统,其中该模组资讯萤幕包含一维修计数器选择部分。11.如申请专利范围第9项之APC系统,其中该模组资讯萤幕包含一气体参数选择部分。12.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等至少一个模组组态设定萤幕包含一模组暂停组态设定萤幕。13.如申请专利范围第12项之APC系统,其中该模组暂停组态设定萤幕包含模组资讯栏位、工具资讯栏位、模组类型资讯栏位、及暂停错误讯息栏位。14.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等至少一个感测器组态设定萤幕包含一感测器类型选择萤幕。15.如申请专利范围第14项之APC系统,其中该感测器类型选择萤幕包含一感测器类型资讯栏位、感测器资讯栏位、及一求助选择部分。16.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该等至少一个感测器组态设定萤幕包含一感测器选择萤幕。17.如申请专利范围第16项之APC系统,其中该感测器选择萤幕包含感测器类型资讯栏位、工具资讯栏位、模组识别码资讯栏位、及一感测器状态选择部分。18.如申请专利范围第1项之APC系统,其中用来设定一警示管理系统的组态之该等至少一个警示组态设定萤幕包含一警示组态设定萤幕。19.如申请专利范围第18项之APC系统,其中该警示组态设定萤幕包含工具资讯栏位、来源资讯栏位、警示资讯栏位、及通知资讯栏位。20.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该组APC GUI萤幕包含自其中包含一英文萤幕、一日文萤幕、一中文萤幕、一韩文萤幕、一德文萤幕、及一法文萤幕的一组萤幕中选出的至少一个萤幕。21.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该组APC GUI萤幕包含至少一个萤幕,而该等至少一个萤幕包含自其中包含由左至右标签、由右至左标签、由上至下标签、及由下至上标签的一组标签中选出的选择标签。22.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该组APC GUI萤幕包含至少一个具有一标题控制板之萤幕,该标题控制板包含用来显示版本资讯之公司标识区块、用来显示现行使用者的识别码之使用者识别码区块、当有一进行中的警示时用来显示一讯息之警示讯息区块、用来显示伺服器的现在日期及时间之现在日期及时间区块、用来显示现行萤幕的名称之现行萤幕名称区块、用来显示伺服器与工具间之通讯链路的现行状态之通讯状态区块、用来显示被监视的工具的识别码之工具识别码区块、以及可让一使用者登出之登出区块。23.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该组APC GUI萤幕包含至少一个具有一控制面板之萤幕,该控制面板具有沿着该萤幕的底部之复数个按钮,该等按钮可让一使用者显示一工具状态萤幕、制程模组萤幕、图表萤幕、警示记录萤幕、SPC萤幕、资料设定萤幕、及求助萤幕。24.如申请专利范围第1项之APC系统,其中该APC系统进一步包含一耦合到该半导体处理系统之APC伺服器。25.如申请专利范围第24项之APC系统,其中该APC系统进一步包含复数个耦合到该APC伺服器之用户端终端机,其中至少一个用户端终端机包含用来设定一制程工具的组态之一GUI、以及用来设定耦合到该制程工具的一制程模组的组态之一GUI。26.如申请专利范围第2项之APC系统,其中该工具组态设定萤幕包含用于自其中包含一蚀刻工具、一沈积工具、一扩散工具、一清洗工具、一传输工具、一度量工具、及一装载工具的一组工具中选出的一工具之一组态设定萤幕。27.一种使用其中包含一组图形使用者介面(GUI)萤幕的先进制程控制(APC)系统而设定一半导体处理系统的组态之方法,该方法包含下列步骤:使用一网路型登入萤幕而进入一系统组态设定萤幕;使用至少一个系统组态设定GUI萤幕设定至少一个制程工具;使用至少一个模组组态设定GUI萤幕设定耦合到该等至少一个制程工具的至少一个制程模组之组态;使用至少一个感测器组态设定GUI萤幕设定耦合到该等至少一个制程工具的至少一个感测器之组态;以及使用至少一个警示组态设定GUI萤幕设定耦合到该半导体处理系统的至少一个警示管理系统之组态。28.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一工具组态设定萤幕设定至少一个制程工具之组态,其中该工具组态设定萤幕包含一工具名称栏位、一IP位址栏位、以及一工具开始选择部分。29.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含下列步骤:使用一探针组态设定萤幕设定一电压╱电流(V/I)探针。30.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含下列步骤:使用一探针组态设定萤幕设定一发射光谱(OES)探针。31.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一模组选择萤幕设定至少一个制程模组之组态,其中该模组选择萤幕包含模组资讯栏位、工具资讯栏位、模组识别码资讯栏位、及一模组状态选择部分。32.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一模组资讯萤幕设定至少一个制程模组之组态,其中该模组资讯萤幕包含一维修计数器选择部分。33.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一模组资讯萤幕设定至少一个制程模组之组态,其中该模组资讯萤幕包含一气体参数选择部分。34.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一模组暂停组态设定萤幕设定至少一个制程模组之组态,其中该模组暂停组态设定萤幕包含模组资讯栏位、工具资讯栏位、模组类型资讯栏位、及暂停错误讯息栏位。35.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一感测器类型选择萤幕设定至少一个感测器之组态,其中该感测器类型选择萤幕包含感测器类型资讯栏位、感测器资讯栏位、及一求助选择部分。36.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一感测器选择萤幕设定至少一个感测器之组态,其中该感测器选择萤幕包含感测器类型资讯栏位、工具资讯栏位、模组识别码资讯栏位、及一感测器状态选择部分。37.如申请专利范围第27项之方法,进一步包含使用一警示组态设定萤幕设定至少一个警示管理系统之组态,其中该警示组态设定萤幕包含工具资讯栏位、来源资讯栏位、警示资讯栏位、及通知资讯栏位。图式简单说明:图1示出根据本发明一实施例的一先进制程控制(APC)半导体制造系统之一方块图;图2示出根据本发明一实施例的一登入萤幕之一例示画面;图3示出根据本发明一实施例的一主选单GUI萤幕之一简图;图4示出根据本发明一实施例的一萤幕选择GUI萤幕之一简图;图5示出根据本发明一实施例的一系统组态设定萤幕之一简图;图6A-6C及图7A-7C示出根据本发明一实施例的额外的系统组态设定萤幕之简图;图8示出根据本发明一实施例的另一组态设定萤幕之一简图;图9示出根据本发明一实施例的另一组态设定萤幕之一简图;图10示出根据本发明一实施例的一模组组态设定萤幕之一简图;图11A及图11B示出根据本发明一实施例的额外的模组组态设定萤幕之简图;图12示出根据本发明一实施例的一感测器事例萤幕之一简图;图13示出根据本发明一实施例的另一感测器事例量幕之一简图;图14示出根据本发明一实施例的另一感测器事例萤幕之一简图;图15示出根据本发明一实施例的一模组暂停萤幕之一简图;图16A-16D示出根据本发明一实施例的若干警示组态设定萤幕之例示图;以及图17示出根据本发明一实施例的一半导体处理系统的一组态设定程序之流程简图。 |
