| 摘要 |
본 발명은 배출가속기 및 이를 구비한 로드 포트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 내부의 유로를 유동하는 배출 유체의 배출을 가속화하는 배출가속기로서, 배출가속기의 내부로 공급 유체를 공급하는 적어도 하나 이상의 공급관을 구비한 유체 공급부와, 유체 공급부를 통해 공급되는 공급 유체가 유동하는 유체 유동부 및 유체 유동부에 구비되어 유체 유동부를 유동하는 공급 유체가 배출가속기의 내부의 유로로 유입되도록 하는 유체 주입부를 포함하되, 공급관은 배출가속기의 배출 유체의 유로 상의 중심축을 기준으로 편심 배치된 것을 특징으로 하는 배출가속기에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 로드 포트에 탑재된 풉에서 웨이퍼에 잔존하는 잔존가스인 퓸 제거의 효율을 높이기 위한 배출가속기를 통해 유지 보수 및 전력 소비량 측면에서 향상된 효과가 있다. |
