| 摘要 |
露光装置は、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第１部材と、光学部材の周囲の一部に配置される第２部材と、を含み、液体の液浸空間を形成可能な液浸部材と、第１部材に対して第２部材を移動可能な駆動装置と、駆動装置を制御する制御装置と、を備える。制御装置は、同じ列に含まれる第１ショット領域の露光終了から第２ショット領域の露光開始までの基板の第１移動期間における第２部材の第１動作と、ある列の第３ショット領域の露光終了から別の列の第４ショット領域の露光開始までの基板の第２移動期間における第２部材の第２動作とが異なるように、駆動装置を制御する。 |
