静電チャック用障壁層

摘要

イオンを高温で注入する静電チャックを開示する。静電チャックは絶縁ベースを含み、その上に導電性電極が配置される。誘電体最上層が電極上に配置される。障壁層は、誘電体最上層とワークとの間にくるように、誘電体最上層上に配置される。この障壁層は誘電体最上層からチャック上にクランプされたワークへの粒子の移動を阻止する働きをする。いくつかの実施形態では、摩耗を防止するために、保護層が障壁層の最上部に付加される。