モノリシックに相互接続された薄膜ソーラーセルの製造のための、基板上の薄膜のレーザーによる構造化の方法、及び薄膜ソーラーモジュールの製造方法

摘要

本発明は、モノリシックに相互接続された薄膜ソーラーセルの製造のための、基板上の薄膜のレーザーによる構造化の方法であって、以下のステップ、即ち、レーザー波長を有するレーザーを準備するステップと、第１の側と第２の側を有し、レーザー波長に対し透明な基板（１）を準備するステップであって、当該基板の第１の側には金属製の後部電極薄膜の（２）があり、金属製の後部電極薄膜（２）の上には薄膜ソーラーセルのための吸収薄膜（３）が配置されている、ステップと、レーザー光線（Ｌ）を基板に照射するステップと、基板（１）上でスクライブ線に沿ってレーザー光線（Ｌ）を動かすステップ、及び／又はスクライブ線に沿って基板（１）をレーザー光線（Ｌ）に対して動かすステップと、を含む方法に関する。本発明によると、レーザー光線（Ｌ）は、基板（１）の第２の側に照射され、基板（１）を通過して金属製の後部電極薄膜（２）に入射し、金属製の後部電極薄膜（２）の上に配置された吸収薄膜（３）がスクライブ線に沿って除去され、かつ基板の上にレーザーの影響を受けた金属製の後部電極薄膜（２）が残るよう、ナノ秒、ピコ秒、又はフェムト秒領域のレーザーパルスに設定され、又動かされる。【選択図】図８