閾値電圧がマッチングした集積回路およびこれを作製するための方法

摘要

基板、前記基板にわたって形成されたバッファー層、前記バッファー層にわたって形成されたバリア層、およびエンハンスメントモードデバイスを、デプレーションモードデバイスと分離する分離領域、を有する集積回路。前記集積回路は、１つのゲートコンタクト凹部中に位置されたエンハンスメントモードデバイスのための第１のゲートコンタクトおよび第２のゲートコンタクト凹部中に位置されたデプレーションモードデバイスのための第２のゲートコンタクトをさらに含む。