| 摘要 |
본 발명은 트위저 상에서 기판이 어긋나도 서셉터 상의 소정 위치에 기판을 재치한다.기판을 재치하는 제1 및 제2 기판 재치부를 동일 원주 상에 포함하는 기판 재치대와, 상기 기판 재치대를 회전시키는 회전 기구를 포함하고, 상기 제1 및 제2 기판 재치부에 재치된 기판을 처리하는 처리실; 상기 처리실에 인접하여 설치되고, 상기 제1 및 제2 기판 재치부에 기판을 반송하여 재치하는 기판 반송기를 포함하는 반송실; 상기 반송실 내에서 기판의 유무를 검출하는 기판 유무 검출기; 상기 제1 기판 재치부에 기판을 재치하기 위한 상기 기판 반송기의 상기 처리실 내에서의 기준 위치를 나타내는 제1 재치부 기준 위치 정보, 상기 제2 기판 재치부에 기판을 재치하기 위한 상기 기판 반송기의 상기 처리실 내에서의 기준 위치를 나타내는 제2 재치부 기준 위치 정보 및 상기 반송실 내에서 반송 중의 기판의 기준 위치를 나타내는 기판 위치 기준 정보를 기억하는 기억부; 및 상기 기판 유무 검출기로 검출한 기판 유무 정보 및 상기 기판 반송기의 이동 속도에 기초하여 상기 반송실 내에서 반송 중의 기판 위치를 나타내는 검출 위치 정보를 작성하고, 상기 검출 위치 정보와, 상기 제1 재치부 기준 위치 정보와, 상기 제1 재치부 기준 위치 정보와 상기 제2 재치부 기준 위치 정보의 차분 정보와, 상기 기판 위치 기준 정보에 기초하여, 상기 기판 반송기가 상기 제2 기판 재치부에 기판을 재치하는 위치를 제어하는 제어부;를 포함한다. |
