| 发明名称 |
ビームデリバリ装置及び方法 |
| 摘要 |
【課題】１つ以上のツールに放射を与えるための放射源に適した、既知のビームデリバリ装置又は方法に伴う問題の１つ以上を解消又は軽減するビームデリバリ装置又は方法を提供する。【解決手段】リソグラフィシステム内で用いるためのデリバリシステムである。このビームデリバリシステムは、放射源から放射ビームを受光すると共に、放射の部分を１つ以上の方向に沿って反射して１つ以上のツールに与えるために１つ以上の分岐放射ビームを形成するように配置された光学要素を備えている。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2016539382(A) |
申请公布日期 |
2016.12.15 |
| 申请号 |
JP20160544749 |
申请日期 |
2014.09.24 |
| 申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． |
发明人 |
バニエ，バディム;バートレイジ，ペトルス;ヴァン ゴルコム，ラモン;アメント，ルーカス;デ ヤゲル，ピーター;デ フリース，ゴッセ;ドンケル，リルフォ;エンゲレン，ウーター;フラインス，オラフ;グリミンク，レオナルドゥス;カタレニック，アンジェルコ;ループストラ，エリック;ニーンフイス，ハン−クワン;ニキペロフ，アンドレイ;レンケンズ，マイケル;ヤンセン，フランシスクス;クリュイツィンガ，ボルヘルト |
| 分类号 |
G03F7/20;G02B17/06;H01S3/00;H01S3/30;H05H13/04 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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