发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04276656(A) 申请公布日期 1992.10.01
申请号 JP19910038286 申请日期 1991.03.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA MAKOTO;KIKUCHI YOSHIO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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