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发明名称 SILIKON ENTHALTENES NEGATIVES PHOTORESISTMATERIAL UND DESSEN VERWENDUNG ZUM HERSTELLEN VON GEMUSTERTEN OBERFLÄCHEN.
摘要
申请公布号 DE3884188(T2) 申请公布日期 1994.03.03
申请号 DE19883884188T 申请日期 1988.04.13
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO., LOS ANGELES, CALIF., US 发明人 GRANGER, DIANA, D., THOUSAND OAKS, CA 91360, US;MILLER, LEROY, J., CANOGA PARK, CA 91304, US
分类号 C08F230/08;G03F7/075;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 C08F230/08
代理机构 代理人
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