具有闸极控制SCR传导开关之钳制型光二极体感测元件PINNED PHOTODIODE SENSOR WITH GATE CONTROLLED SCR TRANSFER SWITCH AND METHOD OF FORMATION

摘要

具有闸极控制SCR传导开关之钳制型光二极体感测元件包含一钳制型光二极体与一闸极控制之SCR传导开关。该SCR传导开关包含一P型基底，一N–掺杂区与一N＋掺杂区形成于该基底上，一P＋掺杂区形成于该N–掺杂区上，一氧化层形成于该P型基底、该N–掺杂区、N＋掺杂区与该P＋掺杂区上，以及一闸极形成于该P型基底与该N–掺杂区上。该闸极包含一P＋掺杂区与一N＋掺杂区。如此可使在传导与曝光的过程中，空乏区不会接触到该氧化层与该基底之介面，因而避免漏电流的产生。