| 发明名称 |
WAFER BIAS RING IN SUSTAINED SELF-SPUTTERING REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11100668(A) |
申请公布日期 |
1999.04.13 |
| 申请号 |
JP19980176509 |
申请日期 |
1998.05.20 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
HONG LIUBO;FORSTER JOHN;FU JIANMING |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/14;C23C14/34;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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