发明名称 INTERFEROMETRIC OPTICAL SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1468244(A2) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20030701534 申请日期 2003.01.21
申请人 SCINEX AG 发明人 WEITZEL, THILO
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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