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发明名称
OPTICAL COLUMN FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
KR100496496(B1)
申请公布日期
2005.06.22
申请号
KR20027009917
申请日期
2002.08.01
申请人
发明人
分类号
H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/26
主分类号
H01J37/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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