使用超声反射检测抛光垫的表面性质

摘要

本发明提供一种使用非接触超声反射法检测抛光垫表面性质的系统和方法。超声探头位于抛光表面的上方并在不与抛光的表面相接触的情况下被配置成既将超声信号传送到抛光的表面又从抛光的表面接收改变了的超声信号。耦合到超声探头的子系统被配置成从改变后的信号中确定抛光垫的表面性质。

主权项

1.一种抛光垫，包括：热塑性泡沫衬底，具有包括凹形单元的表面；以及涂覆所述凹形单元内表面的抛光剂。