| 主权项 |
1.一种真空蒸镀机,其特征在于包含:搬送机构,其系设置于真空容器内,搬送基板者;蒸镀室,其系设于前述基板之下面侧,至少具有为垂直于前述基板之搬送方向之方向之板宽方向之被蒸镀区域之长度;复数蒸发室,其系设于前述真空容器之下方侧,使复数蒸镀材料汽化或昇华,产生前述复数蒸镀材料之蒸气;复数蒸气量控制机构,其系至少具有前述基板之前述板宽方向之被蒸镀区域之长度,并且控制于前述基板之前述板宽方向之来自前述蒸发室之前述蒸镀材料之蒸气量;混合室,其系前述复数蒸气量控制机构面对,混合前述蒸镀材料之蒸气;及加热机构,其系加热由前述蒸发室到前述蒸镀室之真空容器之壁面;前述蒸气量控制机构具有:块体,其系于前述基板之前述板宽方向具备复数入口孔及对应其之复数出口孔;圆柱状开闭器轴,其系可旋转地嵌合于前述块体内,且于前述基板之前述板宽方向配设有复数个;及连通孔,其系设于各个前述开闭器轴,连通前述一个入口孔及对应其之前述一个出口孔。2.一种真空蒸镀机,其特征在于包含:搬送机构,其系设置于真空容器内,搬送基板者;蒸镀室,其系设于前述基板之下面侧,至少具有为垂直于前述基板之搬送方向之板宽方向之方向之被蒸镀区域之长度;复数蒸发室,其系设于前述真空容器之下方侧,使复数蒸镀材料汽化或昇华,产生前述复数蒸镀材料之蒸气;混合室,其系混合前述蒸镀材料之蒸气;蒸气整流机构,其系至少具有前述基板之前述板宽方向之被蒸镀区域之长度,并且于前述基板之下面侧,与前述基板之被蒸镀面平行地配置,调整在于前述蒸镀室内之前述蒸镀材料之蒸气分布及流动;及加热机构,其系加热由前述蒸发室到前述蒸镀室之真空容器之壁面;前述蒸气整流机构具有:固定板,其具备复数第1贯通孔;及复数可动板,其系在前述固定板之平面上可动配置于前述基板之前述板宽方向,并且具备控制前述复数第1贯通孔之开口面积之开口面积控制机构。3.一种真空蒸镀机,其特征在于包含:搬送机构,其系设置于真空容器内,搬送基板者;蒸镀室,其系设于前述基板之下面侧,至少具有为垂直于前述基板之搬送方向之方向之板宽方向之被蒸镀区域之长度;复数蒸发室,其系设于前述真空容器之下方侧,使复数蒸镀材料汽化或昇华,产生前述复数蒸镀材料之蒸气;复数蒸气量控制机构,其系至少具有前述基板之前述板宽方向之被蒸镀区域之长度,并且控制于前述基板之前述板宽方向之来自前述蒸发室之前述蒸镀材料之蒸气量;混合室,其系前述复数蒸气量控制机构面对,混合前述蒸镀材料之蒸气;蒸气整流机构,其系至少具有前述基板之前述板宽方向之被蒸镀区域之长度,并且在为前述蒸气量控制机构上方侧之前述基板之下面侧,与前述基板之被蒸镀面平行地配置,调整前述蒸镀室内之前述蒸镀材料之蒸气分布及流动;及加热机构,其系加热由前述蒸发室到前述蒸镀室之真空容器之壁面;前述蒸气量控制机构具有:块体,其系于前述基板之前述板宽方向具备复数入口孔及对应其之复数出口孔;圆柱状开闭器轴,其系可旋转地嵌合于前述块体内,且于前述基板之前述板宽方向配设有复数个;及连通孔,其系设于各个前述开闭器轴,连通前述一个入口孔及对应其之前述一个出口孔;前述蒸气整流机构具有;固定板,其具备复数第1贯通孔;及复数可动板,其系在前述固定板之平面上可动配置于前述基板之前述板宽方向,并且具备控制前述复数之第1贯通孔之开口面积之开口面积控制机构。4.如请求项1或2之真空蒸镀机,其中前述蒸气量控制机构系于前述开闭器轴之内部或外部具有旋转前述开闭器轴之旋转机构。5.如请求项2或3之真空蒸镀机,其中前述蒸气整流机构系以前述开口面积控制机构为复数第2贯通孔,将前述第1贯通孔及前述第2贯通孔以特定间隔配置,并且前述第1贯通孔及前述第2贯通孔之开口宽于垂直于前述可动板之移动方向之方向为同一。6.如请求项2或3之真空蒸镀机,其中前述蒸气整流机构系以前述开口面积控制机构为复数第2贯通孔,将前述第1贯通孔及前述第2贯通孔以特定间隔配置,并且前述第1贯通孔及前述第2贯通孔之开口宽于垂直于前述可动板之移动方向之方向为相异。7.如请求项2或3之真空蒸镀机,其中前述蒸气整流机构系以前述开口面积控制机构为以特定间隔配置之复数狭缝。图式简单说明:图1系使用关于本发明之真空蒸镀机之线内成膜装置之概略平面图。图2系表示复数配置关于本发明之真空蒸镀机之构成之一例之概略图。图3系表示关于本发明之真空蒸镀机之内部构成之一例之概略图。图4(a)-(c)系表示构成关于本发明之真空蒸镀机之筒管开闭器之一例之图。图5(a)-(c)系表示构成关于本发明之真空蒸镀机之筒管开闭器之一例之图。图6(a)-(c)系表示构成关于本发明之真空蒸镀机之多孔板开闭器之一例之图。图7(a)-(d)系说明构成关于本发明之真空蒸镀机之多孔板开闭器之调整方法之图。图8(a)-(c)系表示构成关于本发明之真空蒸镀机之多孔板开闭器之其他构成例之图。 |
