片状透明体缺陷的检查方法与装置

摘要

提供检查输送中的片状透明体存在的伴生有光学畸变缺陷的缺陷检查方法。根据此缺陷检查方法在上述片状透明体的一侧设有照明装置；于此片状透明体的另一侧设有1维摄像装置。此述照明装置具有明部与暗部，将此明部与暗部的边界设定为实质上与1维摄像装置中平行的直线状，而以此摄像装置的视场作为上述边界部。将此摄像装置的1维输出构成2维图像数据，将此图像数据变换为3值化处理的图像数据，在基于此3值化图像数据的显示图像中，通过沿上述片状透明体输送方向顺次出现的明部与暗部组成的缺陷图案，检查缺陷并识别缺陷的种类。

主权项

1、一种缺陷检查装置，用于检查输送中的片状透明体上存在的伴生有光学畸变的缺陷，其特征在于包括，在上述片状透明体的一侧设置的1维摄像装置；在上述片状透明体的另一侧设置的照明装置，此照明装置具有暗部-明部-暗部的图案，该图案由：光源、以及设于上述光源和上述片状透明体之间二个隔开间隙配置的第一遮光板和第二遮光板形成，以上述第一遮光板形成的明部与暗部之间边界的边缘部作为上述摄像装置的视场应用，具有将此摄像装置的1维输出构成2维图像数据，且将此图像数据变换成分为明部、暗部及灰部3个值进行处理的图像数据而形成基于此图像数据的显示图像的图像处理装置，在上述显示图像中显示沿上述片状透明体输送方向顺次出现的明部与暗部组成的缺陷图案。