Process for obtaining thin films of zirconium nitride,申请号EP20060014020-传众专利搜索

发明名称	Process for obtaining thin films of zirconium nitride
摘要
申请公布号	EP1746183(B1)	申请公布日期	2010.01.27
申请号	EP20060014020	申请日期	2006.07.06
申请人	H.C. STARCK CLEVIOS GMBH	发明人	REUTER, KNUD, DR.;PASSING, GERD, DR.;YOUNSOO, KIM, DR.;HARISH, PARALA, DR.;FISCHER, ROLAND A., PROF. DR.
分类号	C23C16/34;H01L21/285	主分类号	C23C16/34
代理机构		代理人
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