Method for manufacturing metal chalcogenide film and the film manufactured by the same

摘要

본 발명은 이종원소 박막의 제작에 관한 것으로 특히, 열처리 과정을 포함하는 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법 및 그 박막에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 금속 칼코게나이드 박막의 제조 방법에 있어서, 기판 상에 금속 칼코게나이드 또는 금속 칼코게나이드 전구체의 박막을 형성하는 단계; 및 상기 기판 상에 형성된 박막에 자외선을 조사하여 열처리하는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.