摘要 |
대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기(100)가 공개되었고, 대물 렌즈 지지 장치는 포토 에칭포토 에칭0)에 설치된다. 대물 렌즈 지지 장치는 메인 지지 장치(101)와 보조 지지 장치(102)를 포함한다. 메인 지지 장치(101)의 일단은 대물 렌즈 플랜지(104)와 연결되고, 타단은 메인 보드(107)에 설치된다. 보조 지지 장치(102)의 일단은 대물 렌즈 본체(103)와 연결되고, 타단은 내부 프레임에 설치된다. 대물 렌즈 플랜지 및 대물 렌즈 본체에 각각 메인 지지 장치와 보조 지지 장치를 설치함으로써, 대물 렌즈 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)으로 회전하는 모드의 진동형을 제거할 수 있어 각 단계 진동형 모드의 주파수 값을 향상시키고, 대물 렌즈의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답 차이값을 줄여 노출 정밀도를 향상시킨다. |