发明名称 OBJECTIVE LENS SUPPORT DEVICE AND PHOTOETCHING MACHINE
摘要 대물 렌즈 지지 장치 및 포토 에칭 기기(100)가 공개되었고, 대물 렌즈 지지 장치는 포토 에칭포토 에칭0)에 설치된다. 대물 렌즈 지지 장치는 메인 지지 장치(101)와 보조 지지 장치(102)를 포함한다. 메인 지지 장치(101)의 일단은 대물 렌즈 플랜지(104)와 연결되고, 타단은 메인 보드(107)에 설치된다. 보조 지지 장치(102)의 일단은 대물 렌즈 본체(103)와 연결되고, 타단은 내부 프레임에 설치된다. 대물 렌즈 플랜지 및 대물 렌즈 본체에 각각 메인 지지 장치와 보조 지지 장치를 설치함으로써, 대물 렌즈 플랜지 장착면을 중심으로 전체가 수평방향(X축 방향 또는 Y축 방향)으로 회전하는 모드의 진동형을 제거할 수 있어 각 단계 진동형 모드의 주파수 값을 향상시키고, 대물 렌즈의 상부 끝단, 중심, 하부 끝단 사이의 변위 응답 차이값을 줄여 노출 정밀도를 향상시킨다.
申请公布号 KR20160100379(A) 申请公布日期 2016.08.23
申请号 KR20167019532 申请日期 2014.12.24
申请人 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT CO., LTD. 发明人 WANG QIAN
分类号 G03F7/20;G03F1/80 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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